»Ë»Ñ ´º½º
°æÁ¦´º½º ÀÔ´Ï´Ù.
  • ºÏ¸¶Å© ¾ÆÀÌÄÜ

[Ư¡ÁÖ]¿ÍÀ̾¾ÄÍ, À¯¸®±âÆÇ¿ë 3´ë¼ÒÀç ¾ç»ê 'äºñ'¡¦»ï¼º À¯¸®·Î ¹Ì·¡¹ÝµµÃ¼ '´ëºñ'

¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç¾÷ü ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ °­¼¼´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ À¯¸®±âÆÇÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ¹Ì·¡ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ´ëºñ¿¡ Âø¼öÇß´Ù´Â ¼Ò½ÄÀÌ ÁÖ°¡¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
À¯¸®±âÆÇÀº ÀΰøÁö´É(AI) Ĩ°ú °°Àº °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ±¸ÇöÀ» °¡´ÉÄÉ ÇÏ´Â Â÷¼¼´ë ºÎǰÀÌ´Ù.


26ÀÏ ¿ÀÀü 9½Ã42ºÐ ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 13.93% ¿À¸¥ 2¸¸5350¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.


ÇÑ ITÀü¹® ¸Åü´Â »ï¼ºÀüÀÚ°¡ 2028³â ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ÆÐŰ¡¿¡ À¯¸®±âÆÇÀ» µµÀÔÇÑ´Ù´Â °èȹÀ» ¼¼¿î °ÍÀ¸·Î ÆÄ¾ÇµÆ´Ù°í º¸µµÇß´Ù.
'½Ç¸®ÄÜ ÀÎÅÍÆ÷Àú'¸¦ '±Û¶ó½º ÀÎÅÍÆ÷Àú'·Î ´ëüÇÏ´Â°Ô °ñÀÚ·Î, »ï¼ºÀüÀÚ À¯¸®±âÆÇ ·Îµå¸ÊÀÌ È®ÀÎµÈ °Ç óÀ½ÀÌ´Ù.


¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº À¯¸®±âÆÇ¿ë 3´ë ÇٽɼÒÀ縦 ¾ç»êÇÒ Áغñ¸¦ Çϰí ÀÖ´Ù.
°í¿µ¹Î ´Ù¿ÃÅõÀÚÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "ÇöÀç ±¹³» ¼±µµ °í°´»çÇâ À¯¸®±âÆÇ¿ë Æ÷Åä ¼ÒÀç 3Á¾(PR/Çö»ó¾×/¹Ú¸®¾×)À» ´Üµ¶À¸·Î °ø±Þ Áß"À̸ç "°í°´»ç´Â ºÏ¹Ì ±Û·Î¹ú ´ëÇ¥ Àåºñ»çÀÇ ³ë±¤Àåºñ¸¦ äÅÃÇßÀ¸¸ç ÇØ´ç Àåºñ¿ë ¼ÒÀç ¼º´É °ËÁõÀ» ¿Ï·áÇß´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
À̾î "
À¯¸®±âÆÇ ½ÃÀåÀÌ °³È­µÉ¼ö·Ï ¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÇ Åº·ÂÀû ½ÇÀû Áõ°¡°¡ °¡´ÉÇÒ °Í"À¸·Î ³»´ÙºÃ´Ù.


°í ¿¬±¸¿øÀº "À¯¸®±âÆÇ¿ë ¼ÒÀç ¿ª½Ã ±ØÀڿܼ±(EUV) ¸°½º¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î ±âÁ¸ ¼ÒÀç ´ëºñ ¿ùµîÇÑ ¼öÀͼºÀ»À» º¸ÀÏ °Í"À̶ó°í °­Á¶Çß´Ù.


¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº ¶Ç ÃÖ±Ù ÀÚü °³¹ßÇÑ '±ØÀڿܼ±(EUV) ¸°½º' Á¦Ç°ÀÌ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ÀÇ ¾ç»êÆò°¡¸¦ Åë°úÇß´Ù.
ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â "±Û·Î¹ú °í°´»ç¿Í Á¦Ç° °ø±Þ ÀÏÁ¤ µîÀ» ÇùÀÇ Áß"À̸ç "¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº °í´ë¿ªÆø ¸Þ¸ð¸®(HBM)¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ °í³­µµ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê °øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¼ÒÀ縦 Á÷Á¢ °ø±ÞÇÒ °Í"À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.


¿ÍÀ̾¾ÄÍÀÌ °ø±ÞÀ» ½ÃÀÛÇÏ´Â 'EUV ¸°½º(Rinse)'´Â ¹ÝµµÃ¼ EUV °øÁ¤¿¡¼­ ªÀº ±¤¿ø ÆÄÀåÀ¸·Î ÀÎÇØ »ý±â´Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÆÐÅϰáÇÕÀ̳ª ºØ±«¸¦ ¹æÁöÇϸ鼭 ÇØ»óµµ¿Í °ÅÄ¥±â, °¨µµ µîÀ» °³¼±ÇÏ´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù.
¿ÍÀ̾¾ÄÍ Á¦Ç°Àº D·¥ °øÁ¤¿¡¼­ ¹ß»ýÇϴ ȸ·Î ºØ±«(Pattern Collapse)¿Í °áÇÔ(Defect)À» È¿°úÀûÀ¸·Î ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀÌ °æÀï·ÂÀ̶ó°í ȸ»ç ÃøÀº °­Á¶Çß´Ù.


HBM »ý»ê °úÁ¤¿¡¼­ ¿Ï¼º ¼öÀ² Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
D·¥ ĨÀ» ¼öÁ÷À¸·Î ÀûÃþÇÏ´Â HBM ÆÐŰ¡ °øÁ¤¿¡¼­ ¸°½º ¼ÒÀçÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀº ¼öÀ²°ú Á÷Á¢ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â ÇÙ½É º¯¼ö´Ù.


HBM °øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀÎ TSV PR(Through Silicon Via Photoresist, ½Ç¸®ÄÜ °üÅë Àü±Ø¿ë °¨±¤Á¦) ¼ÒÀçµµ ¾ç»êÇϰí ÀÖ´Ù.
¿ÍÀ̾¾ÄÍÀº ±â¼ú·Â°ú °øÁ¤ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î, AI, ÀÚÀ²ÁÖÇà, °í¼º´É ÄÄÇ»ÆÃ µî Â÷¼¼´ë »ê¾÷ Àü¹Ý¿¡¼­ ½ÇÁúÀûÀÎ ¼ºÀå ±âȸ¸¦ È®º¸ÇØ ³ª¾Æ°£´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.



¹ÚÇü¼ö ±âÀÚ parkhs@asiae.co.kr
<¨ÏÅõÀÚ°¡¸¦ À§ÇÑ °æÁ¦ÄÜÅÙÃ÷ Ç÷§Æû, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>

´º½º ½ºÅ©·¦À» Çϸé ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ ¶Ç´Â Á¤Ä¡ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ¿¡ °Ô½Ã±ÛÀÌ µî·ÏµË´Ï´Ù. ½ºÅ©·¦Çϱâ >

0
ÃßõÇϱ⠴ٸ¥ÀÇ°ß 0
|
  • ¾Ë¸² ¿å¼³, »óó ÁÙ ¼ö ÀÖ´Â ¾ÇÇÃÀº »ï°¡ÁÖ¼¼¿ä.
©¹æ »çÁø  
¡â ÀÌÀü±Û¡ä ´ÙÀ½±Û